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雷射掃描缺陷圖譜儀

簡要描述:激光掃描缺陷成像儀是激光束感應電流(LBIC)測試的升級版本。它利用波長能量大于半導體帶隙的激光束照射半導體,產生電子空穴對。通過快速掃描樣品表面,獲得揭示內部電流變化的圖像分布,從而分析各種缺陷分布。這有助于分析樣品制備的質量并有助于工藝改進。

  • 產品型號:LSD4
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-03-14
  • 訪  問  量: 2703

詳細介紹

品牌Enlitech產地類別進口
應用領域能源價格區(qū)間面議
測量模式咨詢光焱科技專家

產品介紹


4 分鐘內掌握全貌,以 50 微米分辨率掃描 100 毫米 x 100 毫米區(qū)域


  掃描缺陷成像儀是激光束感應電流(LBIC)測試的升級版本。 它利用波長能量大于半導體能隙的激光光束照射半導體,產生電子-電洞對。 透過快速掃描樣品表面,獲得揭示內部電流變化的影像分布,以分析各種缺陷分布。 這有助于分析樣品制備的質量,并有助于制程改進。

特征


掃描光生電流的分布

掃描光電壓分布

掃描開路電壓和短路電流的分布

分析表面污染

分析短路區(qū)域的 分布

識別和分析微裂紋區(qū)域

分析少數(shù)載子擴散長度的分布(選用功能)


應用

雷射掃描缺陷圖譜儀

硅太陽能電池光電流分布(405 納米)

雷射掃描缺陷圖譜儀雷射掃描缺陷圖譜儀

6 英寸硅晶太陽能電池掃描(17 秒)

雷射掃描缺陷圖譜儀

鈣鈦礦太陽能電池

雷射掃描缺陷圖譜儀    

LSD4-OPV光響應電流分布圖

雷射掃描缺陷圖譜儀

LSD4-OPV光響應電流分布圖

雷射掃描缺陷圖譜儀

分辨率為 50 µm 的非均勻性分析


雷射掃描缺陷圖譜儀

母線/柵極縱橫比檢測(橫截面分析)

雷射掃描缺陷圖譜儀

     雷射掃描缺陷圖譜儀            雷射掃描缺陷圖譜儀

高重復性(6次重復)


規(guī)格

項目參數(shù)說明。
功能A。利用能量高于半導體帶隙的波長激光束在半導體中產生電子空穴對,探索耗盡區(qū)對內部電流變化的影響,了解和分析各種缺陷分布,作為工藝改進的方向。

b.能夠掃描樣品表面光生電流的分布。

C。能夠掃描樣品表面光電壓的分布。

d.能夠掃描開路電壓和短路電流的分布。

e.能夠分析表面污染。

F。能夠分析短路區(qū)域的分布。

G。能夠識別和分析微裂紋區(qū)域。

H。能夠分析少數(shù)載流子擴散長度的分布(可選)。
激勵源
405 ±10nm 激光
520 ±10nm 激光
635 ±10nm 激光
830 ±10nm 激光
掃描區(qū)域≧100mm×100mm
激光光斑尺寸接近TEM00模式點
測繪分辨率
A。掃描分辨率 ≤ 50 µm
b.掃描分辨率可通過軟件設置
測繪時間<4分鐘(100mm×100mm,分辨率50um)
方面60厘米*60厘米*100厘米
軟件A。 LBIC 3D 可視化
b. 2D 橫截面分析(電極縱橫比)
c.光電流響應分布分析(與長波長激光源結合)
d.數(shù)據(jù)保存和導出功能









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